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          壓力傳感器無(wú)法避免的四個(gè)誤差

          作者:江蘇三普儀表有限公司 點(diǎn)擊:694  發(fā)布日期:2022年11月08日

            壓力傳感器是工業(yè)實(shí)踐中最為常用的一種傳感器。一般普通壓力傳感器的輸出為模擬信號,模擬信號是指信息參數在給定范圍內表現為連續的信號。 或在一段連續的時(shí)間間隔內,其代表信息的特征量可以在任意瞬間呈現為任意數值的信號。而我們通常使用的壓力傳感器主要是利用壓電效應制造而成的,這樣的傳感器也稱(chēng)為壓電傳感器。

            壓力傳感器是使用最為廣泛的一種傳感器。傳統的壓力傳感器以機械結構型的器件為主,以彈性元件的形變指示壓力,但這種結構尺寸大、質(zhì)量重,不能提供電學(xué)輸出。隨著(zhù)半導體技術(shù)的發(fā)展,半導體壓力傳感器也應運而生。其特點(diǎn)是體積小、質(zhì)量輕、準確度高、溫度特性好。特別是隨著(zhù)MEMS技術(shù)的發(fā)展,半導體傳感器向著(zhù)微型化發(fā)展,而且其功耗小、可靠性高。

            我們在選擇壓力傳感器的時(shí)候我們要考慮他的綜合精度,而壓力傳感器的精度受哪些方面的影響呢?或者說(shuō)什么原因會(huì )造成傳感器的誤差呢?其實(shí)造成傳感器誤差的因素有很多,下面我們注意說(shuō)四個(gè)無(wú)法避免的誤差,這是傳感器的初始誤差。

            首先的偏移量誤差:由于壓力傳感器在整個(gè)壓力范圍內垂直偏移保持恒定,因此變換器擴散和激光調節修正的變化將產(chǎn)生偏移量誤差。

            其次是靈敏度誤差:產(chǎn)生誤差大小與壓力成正比。如果設備的靈敏度高于典型值,靈敏度誤差將是壓力的遞增函數。如果靈敏度低于典型值,那么靈敏度誤差將是壓力的遞減函數。該誤差的產(chǎn)生原因在于擴散過(guò)程的變化。

            第三是線(xiàn)性誤差:這是一個(gè)對壓力傳感器初始誤差影響較小的因素,該誤差的產(chǎn)生原因在于硅片的物理非線(xiàn)性,但對于帶放大器的傳感器,還應包括放大器的非線(xiàn)性。線(xiàn)性誤差曲線(xiàn)可以是凹形曲線(xiàn),也可以是凸形曲線(xiàn)稱(chēng)重傳感器。

            第四是滯后誤差:在大多數情形中,壓力傳感器的滯后誤差完全可以忽略不計,因為硅片具有很高的機械剛度。一般只需在壓力變化很大的情形中考慮滯后誤差。

            壓力傳感器的這個(gè)四個(gè)誤差是無(wú)法避免的,我們只能選擇高精度的生產(chǎn)設備,利用高新技術(shù)來(lái)降低這些誤差,還可以在出廠(chǎng)的時(shí)候進(jìn)行一點(diǎn)的誤差校準,盡可能來(lái)降低誤差以滿(mǎn)足客戶(hù)的需要。


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